送風口跟FFU別

FFU循環的特點就是：全部凈化室由負壓層、加工工藝層、加工工藝協助層及送風安全通道構成，由FFU給予循環空氣的驅動力，將新風系統、內循環混合均勻根據超高效過濾器送進加工工藝層制造工藝協助層，負壓層相較于加工工藝層為負壓力。除此之外，也有生產制造協助區為集成電路制造廠務機器設備地區，包含能源供應、氣體化工品供貨、超純水系統供貨等。

風機過濾單元特性：

1、可以使用多種形式操縱速率。

2、很低的運行耗費功能損耗，控制成本。

3、內嵌風管引流系統軟件，減少噪音和風阻，提升風機效率。

4、可隨便搭配各種之T-GRID及HEPA、ULPA。

5、風機過濾單元離心風機采用率離心式通風機，能提供高排風量.高壓力標準，使用壽命規定將近五萬個小時以上。

6、適合使用于潔凈度等級Class1-1000級潔凈室。

7、尤其適用于組裝成潔凈生產流水線，可以根據加工工藝應該布局為每臺應用，還可以將幾臺串連產生100級銀行流水裝配流水線

8、產品出廠前都按照美國聯邦政府規范209E，用塵埃粒子計數器逐臺掃描儀檢驗，保障質量。